一種半導(dǎo)體制備擴散爐
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022209260.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213266791U | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請公布號 | CN213266791U | 申請公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號 | C30B31/06(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王家武;楊定永;張順祥;阿鳳雄;羅應(yīng)強 | 申請（專利權(quán)）人 | 云南全控機電有限公司 |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 650000云南省昆明市中國(云南)自由貿(mào)易試驗區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)阿拉街道辦事處云大西路39號新興產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)A幢1樓103-105號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了半導(dǎo)體制備技術(shù)領(lǐng)域的一種半導(dǎo)體制備擴散爐，包括擴散爐主體，所述擴散爐主體左端設(shè)置有石英爐門，所述石英爐門內(nèi)側(cè)設(shè)置有保溫桶，所述擴散爐主體內(nèi)部固定設(shè)置有滑道，所述滑道上滑動裝配有石英舟，所述石英舟的左邊設(shè)置有擋板，所述擋板通過吊環(huán)掛設(shè)在擴散爐主體內(nèi)壁頂端，所述石英舟上方設(shè)置有噴淋管，所述石英舟下方設(shè)置有排廢管，所述排廢管旁邊設(shè)置有TC管，所述噴淋管和排廢管均從擴散爐主體右端穿入，所述擴散爐主體右端中間固定設(shè)置有進氣管，所述進氣管內(nèi)側(cè)設(shè)置有勻流板。本實用性性通過以上設(shè)計優(yōu)化，結(jié)構(gòu)簡單，密封效果好，噴淋管噴淋均勻，保溫隔熱效果好，提高了擴散均勻性，實用性強。?? |
