一種碲鎘汞外延薄膜背面殘液清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022435344.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213561842U 公開（公告）日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN213561842U 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) B24B29/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B47/04（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王家武;楊定永;張順祥;阿鳳雄;羅應(yīng)強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 云南全控機(jī)電有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 650000云南省昆明市中國(guó)（云南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)阿拉街道辦事處云大西路39號(hào)新興產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)A幢1樓103-105號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了半導(dǎo)體材料加工技術(shù)領(lǐng)域的一種碲鎘汞外延薄膜背面殘液清洗裝置，包括底板，所述底板的頂部一側(cè)固定連接有電動(dòng)伸縮桿，通過(guò)啟動(dòng)第一電機(jī)，使得第一電機(jī)帶動(dòng)主皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過(guò)皮帶帶動(dòng)從皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)第一絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使得滑動(dòng)底座可以在第一絲桿上水平移動(dòng)，然后再通過(guò)向上拉動(dòng)限位板，使得限位板可以對(duì)限位彈簧形成一個(gè)向上的壓迫力，利用限位彈簧提供的反向作用力，使得限位板可以將碲鎘汞外延薄膜緊密固定，從而可以對(duì)不同長(zhǎng)度不同厚度的碲鎘汞外延薄膜進(jìn)行固定，且固定過(guò)程中采用機(jī)械化操作，減少了大量的固定時(shí)間，并且固定效果良好，極大的提高了碲鎘汞外延薄膜的固定效率。