一種碲鎘汞外延薄膜背面殘液清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022435344.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213561842U 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN213561842U 申請公布日 2021-06-29
分類號 B24B29/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B47/04（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王家武;楊定永;張順祥;阿鳳雄;羅應(yīng)強 申請（專利權(quán)）人 云南全控機(jī)電有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 650000云南省昆明市中國（云南）自由貿(mào)易試驗區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)阿拉街道辦事處云大西路39號新興產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)A幢1樓103-105號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了半導(dǎo)體材料加工技術(shù)領(lǐng)域的一種碲鎘汞外延薄膜背面殘液清洗裝置，包括底板，所述底板的頂部一側(cè)固定連接有電動伸縮桿，通過啟動第一電機(jī)，使得第一電機(jī)帶動主皮帶輪轉(zhuǎn)動，并通過皮帶帶動從皮帶輪轉(zhuǎn)動，進(jìn)而帶動第一絲桿轉(zhuǎn)動，使得滑動底座可以在第一絲桿上水平移動，然后再通過向上拉動限位板，使得限位板可以對限位彈簧形成一個向上的壓迫力，利用限位彈簧提供的反向作用力，使得限位板可以將碲鎘汞外延薄膜緊密固定，從而可以對不同長度不同厚度的碲鎘汞外延薄膜進(jìn)行固定，且固定過程中采用機(jī)械化操作，減少了大量的固定時間，并且固定效果良好，極大的提高了碲鎘汞外延薄膜的固定效率。