一種半導(dǎo)體器件排氣設(shè)備
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022189249.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN213555994U | 公開(公告)日 | 2021-06-29 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN213555994U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-29 |
分類號(hào) | B01D46/12(2006.01)I;B01D50/00(2006.01)I;B01D53/04(2006.01)I;B01D53/18(2006.01)I;B01D47/02(2006.01)I;B08B15/00(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
發(fā)明人 | 王家武;楊定永;阿鳳雄 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 云南全控機(jī)電有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 650000云南省昆明市中國(guó)(云南)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)阿拉街道辦事處云大西路39號(hào)新興產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)A幢1樓103-105號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型公開了半導(dǎo)體器件排氣技術(shù)領(lǐng)域的一種半導(dǎo)體器件排氣設(shè)備,包括過(guò)濾殼體,過(guò)濾殼體的頂部固定連接有水箱,水箱的頂部連通有排氣箱,過(guò)濾殼體的內(nèi)腔從上至下依次設(shè)置有活性炭吸附板、無(wú)紡布板和過(guò)濾板,過(guò)濾殼體內(nèi)腔的兩側(cè)且位于活性炭吸附板、無(wú)紡布板和過(guò)濾板的兩側(cè)均固定連接有固定塊;首先,將吸氣板、第三連管、三通管、第二連管和風(fēng)機(jī)安裝于半導(dǎo)體器件制造設(shè)備內(nèi)部,通過(guò)本實(shí)用新型設(shè)有的風(fēng)機(jī)通過(guò)第二連管與三通管的連通產(chǎn)生吸力,再通過(guò)三通管與第三連管和吸氣板的連通對(duì)制造設(shè)備內(nèi)部的氣體進(jìn)行吸取,在吸取的同時(shí),再通過(guò)風(fēng)機(jī)出風(fēng)端與過(guò)濾殼體的連通將廢氣注入過(guò)濾殼體內(nèi)腔的底部,實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行排氣的效果。 |
