一種半導(dǎo)體級硅單晶爐坩堝起吊裝置及硅單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011470690.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112575370A 公開（公告）日 2021-03-30
申請公布號 CN112575370A 申請公布日 2021-03-30
分類號 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 姜宏偉;郭志強;鄭鍇 申請（專利權(quán)）人 南京晶能半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 210046江蘇省南京市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)興智路6號興智科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體級硅單晶爐坩堝起吊裝置及硅單晶爐。該起吊裝置通過向下延伸的第三連桿圍繞于坩堝托盤四周，且通過掛鉤承載坩堝托盤并提拉出。第三連桿的打開與閉合操作均通過位于支架上的第一、第二連桿及十字轉(zhuǎn)盤帶動，第一、第二連桿及十字轉(zhuǎn)盤不占用爐內(nèi)空間，且能夠較準(zhǔn)確的控制第三連桿開合的角度，避免觸碰爐壁。該坩堝起吊裝置對爐內(nèi)空間的占用很少，專用于硅單晶爐內(nèi)坩堝與爐壁間隙較小的環(huán)境中。??