一種適用于半導(dǎo)體級(jí)單晶硅長(zhǎng)晶爐的加熱器及組裝方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010716219.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111763990B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111763990B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-18 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B35/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 穆童;張熠;秦英謖;鄭鍇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京晶能半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張弛 |
| 地址 | 210046江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)興智路6號(hào)興智科技園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種適用于半導(dǎo)體級(jí)單晶硅長(zhǎng)晶爐的加熱器，包括：石墨環(huán)、安裝在石墨環(huán)上的若干石墨桿、安裝在若干石墨桿上的石墨電極盤(pán)、安裝在石墨電極盤(pán)上的兩個(gè)石墨電極、石墨螺釘、若干石墨螺帽。本發(fā)明采用石墨桿和石墨環(huán)的連接方式代替了整塊石墨的電極，大幅度節(jié)省了加熱器的材料，可有效降低加熱器成本。同時(shí)，石墨電極是從上方進(jìn)入熱場(chǎng)，避免了揮發(fā)物落在石墨電極處，有效避免了打火的發(fā)生。本發(fā)明同時(shí)提供了該加熱器的組裝方法。 |
