一種單晶爐用環(huán)形分水匯裝置及單晶爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023151508.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214142607U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214142607U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-07 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 吳春生;姜宏偉;郭志強(qiáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 南京晶能半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張弛 |
| 地址 | 210046江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)興智路6號(hào)興智科技園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶爐用環(huán)形分水匯裝置，包括單晶爐蓋、位于單晶爐蓋上的若干視窗、與單晶爐蓋內(nèi)部連通的進(jìn)水口及出水口；所述每個(gè)視窗上同樣設(shè)有進(jìn)水口及出水口；還包括一個(gè)圓弧形的進(jìn)水匯及一個(gè)圓弧形的出水匯，將冷卻液的進(jìn)水管均匯總到進(jìn)水匯，由進(jìn)水匯的出水口統(tǒng)一給需要進(jìn)冷卻液的回路進(jìn)水，同樣的出水端匯總到出水匯，從而使冷卻液在爐蓋上的布線(xiàn)具有調(diào)理且主要集中于進(jìn)水匯、出水匯中，進(jìn)水匯、出水匯可以單獨(dú)取下修整，便于冷卻液回路的檢修維護(hù)。 |
