一種水冷套對中組件及對中方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011473256.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112501685A 公開（公告）日 2021-03-16
申請公布號 CN112501685A 申請公布日 2021-03-16
分類號 C30B15/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳春生;羅漢昌;姜宏偉 申請（專利權(quán)）人 南京晶能半導體科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 210046江蘇省南京市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)興智路6號興智科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種水冷套對中組件，包括水冷屏、位于水冷屏外圍的熱場組件、相機支架；所述相機支架上設(shè)有云臺相機；所述云臺相機的攝像頭面對水冷屏底部側(cè)緣與熱場組件之間的空隙；通過云臺相機能夠直接通過攝像方式檢測水冷屏底部側(cè)緣與熱場組件之間的空隙，如某處空隙不符合預設(shè)值，則可以通過吊裝調(diào)節(jié)固定裝置微調(diào)水冷屏位置直至水冷屏底部側(cè)緣與熱場組件之間任一個角度的空隙均符合要求。從而能夠提高最終成品中水冷屏的定位，提高生產(chǎn)的產(chǎn)品良率。??