一種垂直電荷轉(zhuǎn)移型光子解調(diào)器及其工作方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011629474.4 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN112786635A | 公開(公告)日 | 2021-05-11 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN112786635A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-11 |
分類號(hào) | H01L27/146 | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 馬浩文;沈凡翔;王子豪;王凱;李張南;顧郅揚(yáng);胡心怡;柴智;陳輝;常峻淞;李龍飛 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 南京威派視半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 張艷 |
地址 | 211100 江蘇省南京市江寧區(qū)麒麟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)天驕路100號(hào)9號(hào)樓801 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種垂直電荷轉(zhuǎn)移型光子解調(diào)器及其工作方法,半導(dǎo)體上表面設(shè)有調(diào)制解調(diào)部分,半導(dǎo)體下表面延伸至襯底底部構(gòu)成感光部分;感光部分將光子轉(zhuǎn)化為光生載流子,利用垂直電場將光生電子空穴對(duì)分開,其中電子或空穴垂直地輸運(yùn)至半導(dǎo)體表面進(jìn)行光信號(hào)解調(diào)。兩個(gè)電荷收集區(qū)都置為1.8V,調(diào)制開關(guān)一接1.2V,調(diào)制開關(guān)二接0V,襯底電極接地,半導(dǎo)體襯底上部產(chǎn)生橫向電場,其它區(qū)域產(chǎn)生垂直電場;光子被半導(dǎo)體吸收并激發(fā)一個(gè)電子空穴對(duì),并在電場作用下,電子空穴對(duì)被分開,電子向上運(yùn)動(dòng)至半導(dǎo)體表面;在橫向電場作用下,進(jìn)一步運(yùn)動(dòng)到電荷收集區(qū)附近,通過擴(kuò)散進(jìn)入其產(chǎn)生的耗盡區(qū),形成光電流信號(hào)。本發(fā)明的光子解調(diào)器尺寸小,靈敏度及量子效率高。 |
