一種垂直電荷轉(zhuǎn)移型光子解調(diào)器及其工作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011629474.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112786635A 公開（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112786635A 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) H01L27/146 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬浩文;沈凡翔;王子豪;王凱;李張南;顧郅揚(yáng);胡心怡;柴智;陳輝;常峻淞;李龍飛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京威派視半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張艷
地址 211100 江蘇省南京市江寧區(qū)麒麟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)天驕路100號(hào)9號(hào)樓801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種垂直電荷轉(zhuǎn)移型光子解調(diào)器及其工作方法，半導(dǎo)體上表面設(shè)有調(diào)制解調(diào)部分，半導(dǎo)體下表面延伸至襯底底部構(gòu)成感光部分；感光部分將光子轉(zhuǎn)化為光生載流子，利用垂直電場將光生電子空穴對(duì)分開，其中電子或空穴垂直地輸運(yùn)至半導(dǎo)體表面進(jìn)行光信號(hào)解調(diào)。兩個(gè)電荷收集區(qū)都置為1.8V，調(diào)制開關(guān)一接1.2V，調(diào)制開關(guān)二接0V，襯底電極接地，半導(dǎo)體襯底上部產(chǎn)生橫向電場，其它區(qū)域產(chǎn)生垂直電場；光子被半導(dǎo)體吸收并激發(fā)一個(gè)電子空穴對(duì)，并在電場作用下，電子空穴對(duì)被分開，電子向上運(yùn)動(dòng)至半導(dǎo)體表面；在橫向電場作用下，進(jìn)一步運(yùn)動(dòng)到電荷收集區(qū)附近，通過擴(kuò)散進(jìn)入其產(chǎn)生的耗盡區(qū)，形成光電流信號(hào)。本發(fā)明的光子解調(diào)器尺寸小，靈敏度及量子效率高。