一種晶圓制造顯影預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022303321.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213459687U 公開（公告）日 2021-06-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN213459687U 申請(qǐng)公布日 2021-06-15
分類號(hào) H01L21/68（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 韋勝;盛育;盧凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 百克晶半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)跨塘分區(qū)金達(dá)路18號(hào)廠房北部一樓、二樓、三樓局部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種晶圓制造顯影預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，包括轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸放置有晶圓片，所述轉(zhuǎn)軸上端圓周等距離固定連接有多個(gè)限位桿，多個(gè)所述限位桿上均套設(shè)有限位套，所述限位套上固定連接有限位板，所述限位板與所述晶圓片相抵接，所述轉(zhuǎn)軸上套設(shè)有第一連接套，所述第一連接套上圓周等距離鉸接有多個(gè)鉸接桿，所述鉸接桿與所述限位套相鉸接，所述第一連接套上固定連接有L形板，所述L形板上螺紋貫穿連接有緊固螺栓，所述緊固螺栓一端固定連接有抵接塊。本實(shí)用新型具有便于對(duì)晶圓進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，防止在顯影時(shí)出現(xiàn)偏移。