一種晶圓片加工用粉塵收集裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022300090.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213885396U 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN213885396U 申請公布日 2021-08-06
分類號 B01D46/10（2006.01）I;B01D46/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 盧凱;韋勝;盛育 申請（專利權(quán)）人 百克晶半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)跨塘分區(qū)金達路18號廠房北部一樓、二樓、三樓局部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及粉塵收集技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種晶圓片加工用粉塵收集裝置，包括箱體,所述箱體底部四側(cè)均安裝有支柱，所述箱體底部一側(cè)安裝有出水口，所述箱體底部中間安裝有驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機的輸出端安裝有往復(fù)螺桿，所述往復(fù)螺桿伸入所述箱體內(nèi)部，且所述往復(fù)螺桿位于所述箱體內(nèi)部的一端安裝有移動座，所述移動座與所述往復(fù)螺桿之間轉(zhuǎn)動連接，所述移動座沿周向均勻安裝有多個連桿，所述連桿另一端固定有安裝框，所述安裝框為矩形框，且所述箱體內(nèi)壁與所述安裝框之間相抵觸，所述安裝框四側(cè)頂部均開有安裝槽，所述安裝槽內(nèi)部安裝有過濾機構(gòu)，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，方便完成對粉塵的收集。