一種用于多腔室處理的晶圓片傳遞裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022303322.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213459674U 公開(kāi)（公告）日 2021-06-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN213459674U 申請(qǐng)公布日 2021-06-15
分類(lèi)號(hào) H01L21/677 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 韋勝;盛育;盧凱 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 百克晶半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)跨塘分區(qū)金達(dá)路18號(hào)廠房北部一樓、二樓、三樓局部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及晶圓片技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種用于多腔室處理的晶圓片傳遞裝置，包括下板，所述下板正上方設(shè)置有上板，所述下板和上板之間設(shè)置有存放槽，所述存放槽一側(cè)固定有連接板，所述下板上方安裝有電機(jī)，所述電機(jī)上方連接有螺紋桿，所述螺紋桿一端穿過(guò)連接板并轉(zhuǎn)動(dòng)連接在上板下方，所述螺紋桿與連接板之間通過(guò)螺紋連接，所述存放槽兩側(cè)均固定有側(cè)板，所述下板上方兩側(cè)均固定有滑桿。該晶圓片傳遞裝置通過(guò)存放槽來(lái)對(duì)晶圓片進(jìn)行存放，當(dāng)需要將晶圓片取下時(shí)，只需要拉動(dòng)拉板，最左側(cè)的晶圓片便會(huì)從開(kāi)口處滑落。