一種氮氣制備裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120898303.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215364917U 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN215364917U 申請公布日 2021-12-31
分類號 C01B21/04（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 鞠德勝;于偉華;朱建中;萬榮群 申請（專利權(quán)）人 無錫海飛凌半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市精英專利事務(wù)所 代理人 李瑩
地址 214000江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)杏里路10號宜興光電產(chǎn)業(yè)園1幢201室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型實施例公開了一種氮氣制備裝置，涉及電子高純輔助材料制備技術(shù)領(lǐng)域。氮氣制備裝置包括空氣凈化單元、變壓吸附單元以及加碳脫氧單元，空氣凈化單元與變壓吸附單元連接，變壓吸附單元與加碳脫氧單元連接；變壓吸附單元包括吸附塔，吸附塔內(nèi)放置有吸附劑；加碳脫氧單元包括脫氧器，脫氧器內(nèi)放置有碳催化劑。本實用新型實施例提出的氮氣制備裝置能夠同時生產(chǎn)儀表風(fēng)、低純氮以及高純氮等不同純度的氮氣，滿足用戶對不同純度氮氣的用氣需求，同時，儀表風(fēng)、低純氮以及高純氮之間的產(chǎn)量能夠相互協(xié)調(diào)補(bǔ)充，使得氮氣資源能夠得到最大程度的利用。