一種半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721509263.0 申請日 -
公開（公告）號 CN207317870U 公開（公告）日 2018-05-04
申請公布號 CN207317870U 申請公布日 2018-05-04
分類號 G01D21/02;G05B19/042;G08C17/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳寶玉 申請（專利權(quán)）人 北京哈工匯宇人工智能科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362100 福建省泉州市惠安縣山霞鎮(zhèn)龍崗工業(yè)區(qū)31號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)包括激光發(fā)射口、監(jiān)控器、顯示器、按鍵、信號處理器、RS485通訊接口、底座、連接銅芯、信號收發(fā)天線、散熱口、濕度傳感器、溫度傳感器、氣體渾濁度傳感器、終端控制器、RS485通訊模塊、通訊控制器、協(xié)議芯片、收發(fā)芯片、標(biāo)準(zhǔn)接口，本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)在線監(jiān)控制造車間的環(huán)境質(zhì)量，且濕度傳感器與溫度傳感器、氣體渾濁度傳感器可全方位對制造車間的溫度、濕度、污染物渾濁度進(jìn)行監(jiān)測，避免單一的監(jiān)測儀器帶來監(jiān)測不全面的問題，為半導(dǎo)體制造車間提供一個(gè)良好的環(huán)境，有效的提高半導(dǎo)體制造效率。