面向半導(dǎo)體晶圓傳送機(jī)械臂的自適應(yīng)軌跡優(yōu)化方法及系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111634922.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114211495A | 公開（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114211495A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-22 |
| 分類號(hào) | B25J9/16（2006.01）I | 分類 | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 王彭;林堅(jiān);馬群 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州企知鷹知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王玉珍 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)元和萬里路88號(hào)4號(hào)樓1樓104室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種面向半導(dǎo)體晶圓傳送機(jī)械臂的自適應(yīng)軌跡優(yōu)化方法及系統(tǒng)，其中，軌跡優(yōu)化方法包括：基于建立的機(jī)械臂笛卡爾空間軌跡的描述函數(shù)構(gòu)建曲率半徑變化模型；確定擬合曲率半徑與速度的變化關(guān)系的運(yùn)動(dòng)函數(shù)以根據(jù)所述曲率半徑變化模型構(gòu)建機(jī)械臂在任意位置的速度變化模型；根據(jù)笛卡爾空間與關(guān)節(jié)空間的映射關(guān)系獲得關(guān)節(jié)空間內(nèi)的速度函數(shù)；將根據(jù)所述速度變化模型計(jì)算得到的速度值依據(jù)所述速度函數(shù)獲得關(guān)節(jié)空間內(nèi)的速度約束；在所述速度約束中加入奇異點(diǎn)位置以限制機(jī)械臂在奇異點(diǎn)附近的最大速度。通過建立曲率半徑變化模型和速度變化模型，實(shí)現(xiàn)了在笛卡爾空間中軌跡速度的自適應(yīng)加速和降速，提高了在軌跡拐點(diǎn)的運(yùn)行穩(wěn)定性和精度。 |
