半導體晶圓傳送機器臂內(nèi)器件疲勞的監(jiān)測方法及其組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210310870.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114689316A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114689316A 申請公布日 2022-07-01
分類號 G01M13/023（2019.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王彭;林堅 申請（專利權(quán)）人 泓滸（蘇州）半導體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)元和萬里路88號4號樓1樓104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種半導體晶圓傳送機器臂內(nèi)器件壽命的監(jiān)控方法及其組件，包括帶有內(nèi)齒的傳動帶，所述傳動帶的外側(cè)設(shè)置有自動張緊輪，其與傳動帶相碰觸設(shè)置，所述自動張緊輪的同軸上設(shè)置有距離傳感器，所述距離傳感器與終端設(shè)備相電聯(lián)；所述傳動帶的內(nèi)圈中設(shè)置有移動滑軌，所述移動滑軌上通過滑塊設(shè)置有觸碰桿，所述觸碰桿與自動張緊輪在同一軸線設(shè)置，所述觸碰桿與感應(yīng)器相連，所述感應(yīng)器與終端設(shè)備相連，在自動張緊輪位移后，觸碰桿移動的距離與自動張緊輪移動的距離相等。本發(fā)明能提高工作效率。