晶圓機械臂線性校正治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023325062.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215149268U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215149268U 申請公布日 2021-12-14
分類號 B25J19/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設備；機械手;
發(fā)明人 吳國明 申請（專利權）人 泓滸（蘇州）半導體科技有限公司
代理機構 蘇州隆恒知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 金京
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)元和萬里路88號4號樓1樓104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓機械臂線性校正治具，用于校正第一機械臂與第二機械臂的相對位置，使所述第一機械臂、所述第二機械臂相互平行，所述第一機械臂、第二機械臂分別具有相互平行的兩個側壁，所述晶圓機械臂線性校正治具包括第一校正板和第二校正板，所述第一校正板緊靠于所述第一機械臂、所述第二機械臂的一個側壁，所述第二校正板緊靠于所述第一機械臂、所述第二機械臂的另一個側壁，所述第一校正板和第二校正板兩端分別延伸出所述第一機械臂和所述第二機械臂的側壁之外，所述第一校正板和第二校正板的兩端通過可拆卸的緊固裝置鎖緊。校正過程快速有效，因而減少了因機械臂維修或拆卸導致的停機停產時間，提高了半導體生產線的生產效率。