晶圓機(jī)械臂線性校正治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023325062.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215149268U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215149268U 申請公布日 2021-12-14
分類號 B25J19/00（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 吳國明 申請（專利權(quán)）人 泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州隆恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金京
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)元和萬里路88號4號樓1樓104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓機(jī)械臂線性校正治具，用于校正第一機(jī)械臂與第二機(jī)械臂的相對位置，使所述第一機(jī)械臂、所述第二機(jī)械臂相互平行，所述第一機(jī)械臂、第二機(jī)械臂分別具有相互平行的兩個(gè)側(cè)壁，所述晶圓機(jī)械臂線性校正治具包括第一校正板和第二校正板，所述第一校正板緊靠于所述第一機(jī)械臂、所述第二機(jī)械臂的一個(gè)側(cè)壁，所述第二校正板緊靠于所述第一機(jī)械臂、所述第二機(jī)械臂的另一個(gè)側(cè)壁，所述第一校正板和第二校正板兩端分別延伸出所述第一機(jī)械臂和所述第二機(jī)械臂的側(cè)壁之外，所述第一校正板和第二校正板的兩端通過可拆卸的緊固裝置鎖緊。校正過程快速有效，因而減少了因機(jī)械臂維修或拆卸導(dǎo)致的停機(jī)停產(chǎn)時(shí)間，提高了半導(dǎo)體生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。