面向半導(dǎo)體晶圓傳送機械臂的高速運動控制方法和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111654255.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114211497A 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN114211497A 申請公布日 2022-03-22
分類號 B25J9/16（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 王彭;林堅;李青鋒 申請（專利權(quán)）人 泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州企知鷹知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王玉珍
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)元和萬里路88號4號樓1樓104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及機器人控制領(lǐng)域，具體涉及面向半導(dǎo)體晶圓傳送機械臂的高速運動控制方法和系統(tǒng)。該方法為根據(jù)晶圓搬運機械臂控制的動作指令進行運動路徑的分段，并針對每段運動路徑，建立基于多項式的規(guī)劃模型；采集晶圓搬運機器臂的末端抖動數(shù)據(jù)，并根據(jù)規(guī)劃模型獲得機器臂完成路徑運動的變化數(shù)據(jù)，基于抖動數(shù)據(jù)和變化數(shù)據(jù)建立有約束條件的機械臂參數(shù)優(yōu)化方程；通過梯度下降的迭代求解方法對優(yōu)化方案進行迭反復(fù)迭代求解，并保存動作指令加載模型參數(shù)；在模型加載應(yīng)用過程中，根據(jù)動作指令加載模型參數(shù)和多項式的規(guī)劃模型，生成機械臂連續(xù)運動點位，下發(fā)給機械臂軸關(guān)節(jié)進行運行，降低了機械臂抖動及機械臂動作指令運行時間。