面向半導(dǎo)體晶圓傳送機(jī)械臂的高速運(yùn)動(dòng)控制方法和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111654255.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114211497A 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN114211497A 申請公布日 2022-03-22
分類號 B25J9/16（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 王彭;林堅(jiān);李青鋒 申請（專利權(quán)）人 泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州企知鷹知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王玉珍
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)元和萬里路88號4號樓1樓104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及機(jī)器人控制領(lǐng)域，具體涉及面向半導(dǎo)體晶圓傳送機(jī)械臂的高速運(yùn)動(dòng)控制方法和系統(tǒng)。該方法為根據(jù)晶圓搬運(yùn)機(jī)械臂控制的動(dòng)作指令進(jìn)行運(yùn)動(dòng)路徑的分段，并針對每段運(yùn)動(dòng)路徑，建立基于多項(xiàng)式的規(guī)劃模型；采集晶圓搬運(yùn)機(jī)器臂的末端抖動(dòng)數(shù)據(jù)，并根據(jù)規(guī)劃模型獲得機(jī)器臂完成路徑運(yùn)動(dòng)的變化數(shù)據(jù)，基于抖動(dòng)數(shù)據(jù)和變化數(shù)據(jù)建立有約束條件的機(jī)械臂參數(shù)優(yōu)化方程；通過梯度下降的迭代求解方法對優(yōu)化方案進(jìn)行迭反復(fù)迭代求解，并保存動(dòng)作指令加載模型參數(shù)；在模型加載應(yīng)用過程中，根據(jù)動(dòng)作指令加載模型參數(shù)和多項(xiàng)式的規(guī)劃模型，生成機(jī)械臂連續(xù)運(yùn)動(dòng)點(diǎn)位，下發(fā)給機(jī)械臂軸關(guān)節(jié)進(jìn)行運(yùn)行，降低了機(jī)械臂抖動(dòng)及機(jī)械臂動(dòng)作指令運(yùn)行時(shí)間。