一種半導(dǎo)體晶圓傳遞翻轉(zhuǎn)一體化處理設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111609374.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114300400A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-04-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114300400A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 盧偉;王彭 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州企知鷹知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王玉珍 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)元和萬(wàn)里路88號(hào)4號(hào)樓1樓104室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶圓傳遞翻轉(zhuǎn)一體化處理設(shè)備，包括：機(jī)柜，機(jī)柜的一側(cè)設(shè)有取放口，機(jī)柜上位于所述取放口處設(shè)有晶圓裝載埠，所述晶圓裝載埠用于定位和裝載至少一組空載的晶圓倉(cāng)儲(chǔ)盒和一組滿載的晶圓倉(cāng)儲(chǔ)盒；定位識(shí)別機(jī)構(gòu)，定位識(shí)別機(jī)構(gòu)包括：中轉(zhuǎn)承托組件、定位尋邊模塊、以及掃描讀取模塊；承載于所述機(jī)柜內(nèi)用于夾取晶圓并翻轉(zhuǎn)180°的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；以及，承載于所述機(jī)柜內(nèi)轉(zhuǎn)移機(jī)械手。定位識(shí)別完成后轉(zhuǎn)移機(jī)械手將晶圓取放至翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)處，翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)將晶圓夾緊后翻轉(zhuǎn)180°，隨后轉(zhuǎn)移機(jī)械手再次將晶圓從翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)取出放置在空載的晶圓倉(cāng)儲(chǔ)盒內(nèi)，重復(fù)上述動(dòng)作即可將所有晶圓依次翻轉(zhuǎn)和傳遞到空載的晶圓倉(cāng)儲(chǔ)盒內(nèi)，實(shí)現(xiàn)晶圓的自動(dòng)化傳遞和翻轉(zhuǎn)。 |
