一種半導(dǎo)體晶圓傳遞翻轉(zhuǎn)一體化處理設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111609374.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114300400A 公開（公告）日 2022-04-08
申請公布號 CN114300400A 申請公布日 2022-04-08
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 盧偉;王彭 申請（專利權(quán)）人 泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州企知鷹知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王玉珍
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)元和萬里路88號4號樓1樓104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶圓傳遞翻轉(zhuǎn)一體化處理設(shè)備，包括：機柜，機柜的一側(cè)設(shè)有取放口，機柜上位于所述取放口處設(shè)有晶圓裝載埠，所述晶圓裝載埠用于定位和裝載至少一組空載的晶圓倉儲盒和一組滿載的晶圓倉儲盒；定位識別機構(gòu)，定位識別機構(gòu)包括：中轉(zhuǎn)承托組件、定位尋邊模塊、以及掃描讀取模塊；承載于所述機柜內(nèi)用于夾取晶圓并翻轉(zhuǎn)180°的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)；以及，承載于所述機柜內(nèi)轉(zhuǎn)移機械手。定位識別完成后轉(zhuǎn)移機械手將晶圓取放至翻轉(zhuǎn)機構(gòu)處，翻轉(zhuǎn)機構(gòu)將晶圓夾緊后翻轉(zhuǎn)180°，隨后轉(zhuǎn)移機械手再次將晶圓從翻轉(zhuǎn)機構(gòu)取出放置在空載的晶圓倉儲盒內(nèi)，重復(fù)上述動作即可將所有晶圓依次翻轉(zhuǎn)和傳遞到空載的晶圓倉儲盒內(nèi)，實現(xiàn)晶圓的自動化傳遞和翻轉(zhuǎn)。