一種適用于RIE制絨后晶體硅片的表面微腐蝕清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201511022694.X 申請日 -
公開（公告）號 CN105449045B 公開（公告）日 2017-03-22
申請公布號 CN105449045B 申請公布日 2017-03-22
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 解觀超;劉金浩;上官泉元 申請（專利權(quán)）人 江西比太科技有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江西比太科技有限公司
地址 330096 江西省南昌市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)京東大道1189號高新歐洲工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種適用于RIE制絨后晶體硅片的表面微腐蝕清洗方法。本發(fā)明采用BOE蝕刻液與雙氧水混合溶液對RIE制絨后晶體硅片進(jìn)行清洗。其中，雙氧水的作用是在RIE制絨后硅片表面生成一層氧化層，BOE蝕刻液中的HF溶液與氧化層反應(yīng)，實現(xiàn)微腐蝕的效果。BOE蝕刻液能保持溶液的酸度，從而保證溶液腐蝕速率的穩(wěn)定性。本發(fā)明能夠?qū)IE制絨后的硅片表面進(jìn)行微腐蝕，既能實現(xiàn)去除表面損傷層和表面尖端結(jié)構(gòu)的效果，又能控制RIE制絨后的硅片反射率的上升速度。本發(fā)明清洗工藝可在室溫下進(jìn)行，清洗效果重復(fù)性好，避免使用控溫設(shè)備，節(jié)約生產(chǎn)成本。