集合式干法制絨裝置及生產(chǎn)線

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720327974.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206595276U 公開（公告）日 2017-10-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN206595276U 申請(qǐng)公布日 2017-10-27
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 上官泉元;譚興波;楊虎;李妙 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西比太科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江西比太科技有限公司
地址 330000 江西省南昌市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)京東大道1189號(hào)高新歐洲工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種集合式干法制絨裝置，包括前清洗機(jī)構(gòu)、后清洗機(jī)構(gòu)、自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)和RIE干法制絨機(jī)；前清洗機(jī)構(gòu)與自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的進(jìn)料端連接；后清洗機(jī)構(gòu)與自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的出料端連接；RIE干法制絨機(jī)與自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)連接。本實(shí)用新型將前清洗，干法制絨，后清洗整合到一臺(tái)設(shè)備上，中間用自動(dòng)化硅片上下料和傳輸，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，降低生產(chǎn)成本。在此基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還提供了一種采用該集合式干法制絨裝置的生產(chǎn)線。