一種堿清洗干法制絨工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810207602.2 申請日 -
公開（公告）號 CN108493270A 公開（公告）日 2018-09-04
申請公布號 CN108493270A 申請公布日 2018-09-04
分類號 H01L31/0236;H01L31/028 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 韓培勇;黃麗君;劉金浩;上官泉元;李妙 申請（專利權）人 江西比太科技有限公司
代理機構 北京集智東方知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 江西比太科技有限公司
地址 330096 江西省南昌市高新區(qū)京東大道1189號歐洲工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種堿清洗干法制絨工藝，包括：1）硅片預清洗階段依次為使用KOH/H2O2的混合溶液、去離子水、KOH溶液、去離子水、HF/HCL的混合溶液、去離子水清洗硅片后脫水、烘干；2）干法制絨階段：烘干后的硅片再經(jīng)過RIE干法制絨后，得到黑硅；3）黑硅清洗階段依次為使用HF去除硅片表面的反應副產(chǎn)物，再依次使用去離子水、KOH溶液、去離子水、HF/HCL的混合溶液、去離子水清洗硅片后脫水烘干得到黑硅成品。本發(fā)明由于避免了使用含有N元素的HNO3及BOE而極大降低了污水處理難度及排廢量；RIE后使用堿清洗的微觀尖端組織減少，可帶來一定程度的提效，工藝時間可大大減少并大大提高產(chǎn)能。