集合式干法制絨裝置及生產(chǎn)線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710204649.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106876527B 公開（公告）日 2019-07-19
申請公布號 CN106876527B 申請公布日 2019-07-19
分類號 H01L31/18;H01L31/0236;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 上官泉元;譚興波;楊虎;李妙 申請（專利權）人 江西比太科技有限公司
代理機構 北京超凡志成知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 江西比太科技有限公司
地址 330000 江西省南昌市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)京東大道1189號高新歐洲工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種集合式干法制絨裝置，包括前清洗機構、后清洗機構、自動化上下料機構和RIE干法制絨機；前清洗機構與自動化上下料機構的進料端連接；后清洗機構與自動化上下料機構的出料端連接；RIE干法制絨機與自動化上下料機構連接。本發(fā)明將前清洗，干法制絨，后清洗整合到一臺設備上，中間用自動化硅片上下料和傳輸，實現(xiàn)自動化，降低生產(chǎn)成本。在此基礎上，本發(fā)明還提供了一種采用該集合式干法制絨裝置的生產(chǎn)線。