一種電光開關(guān)或光衰減器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210016037.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103207464B 公開（公告）日 2017-09-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN103207464B 申請(qǐng)公布日 2017-09-08
分類號(hào) G02F1/025(2006.01)I;G02F1/01(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 李冰;王曉黎;陳彥青;張宗鎖 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海硅通半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200433 上海市楊浦區(qū)國(guó)定路335號(hào)2號(hào)樓1602室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電光開關(guān)或光衰減器，包括一個(gè)由并行的第一波導(dǎo)臂和第二波導(dǎo)臂構(gòu)成的MZI結(jié)構(gòu)，所述第一波導(dǎo)臂和第二波導(dǎo)臂均包括一個(gè)波導(dǎo)電容器結(jié)構(gòu)。所述第一波導(dǎo)臂外接第一電信號(hào)源，所述第二波導(dǎo)臂外接第二電信號(hào)源。在外接電信號(hào)源作用下，所述第一波導(dǎo)臂的脊波導(dǎo)的本征區(qū)有較大量載流子注入，而所述第二波導(dǎo)臂的脊波導(dǎo)的本征區(qū)無注入載流子或較少量載流子注入；所接電信號(hào)源同時(shí)在兩個(gè)波導(dǎo)臂引起溫度變化，在所述第二波導(dǎo)臂所引起的溫度變化和第一波導(dǎo)臂相同或無限接近。本發(fā)明公開的電光開關(guān)或光衰減器能減小由于兩條波導(dǎo)臂溫度差異所引起的熱效應(yīng)下折射率的變化差異，提高器件效率。