一種電光調(diào)制系統(tǒng)和由其構成的電光開關或光衰減器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210327659.9 申請日 -
公開（公告）號 CN102967951A 公開（公告）日 2013-03-13
申請公布號 CN102967951A 申請公布日 2013-03-13
分類號 G02F1/015(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L33/20(2010.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 李冰 申請（專利權）人 上海硅通半導體技術有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 200433 上海市楊浦區(qū)國定路335號2號樓1611室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電光調(diào)制系統(tǒng)和由其構成的電光開關或光衰減器，所述電光調(diào)制系統(tǒng)包括電光PIN二極管波導和一對模式變換器，所述電光PIN二極管波導由脊波導構成，其平板區(qū)的兩側(cè)分別為高濃度摻雜的P型摻雜區(qū)和N型摻雜區(qū)。所述脊波導的平板區(qū)高度小于所述脊波導脊高度的一半。所述脊波導的脊寬與所述脊波導的總高度相近，波導傳導的主模的主要能量限制在芯區(qū)。所述電光開關或光衰減器，從輸入到輸出依次包括一個輸入Y分支耦合器、一對輸入模式變換器、一段由兩支并行的電光PIN二極管波導構成的有源波導區(qū)、一對輸出模式變換器、和一個輸出Y分支耦合器。本發(fā)明結(jié)構能提高載流子注入效率，降低器件總功耗，且具有高消光比。