一種電光開關或光衰減器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210016037.4 申請日 -
公開（公告）號 CN103207464A 公開（公告）日 2013-07-17
申請公布號 CN103207464A 申請公布日 2013-07-17
分類號 G02F1/025(2006.01)I;G02F1/01(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 李冰;王曉黎;陳彥青;張宗鎖 申請（專利權）人 上海硅通半導體技術有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 200433 上海市楊浦區(qū)國定路335號2號樓1602室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電光開關或光衰減器，包括一個由并行的第一波導臂和第二波導臂構(gòu)成的MZI結(jié)構(gòu)，所述第一波導臂和第二波導臂均包括一個波導電容器結(jié)構(gòu)。所述第一波導臂外接第一電信號源，所述第二波導臂外接第二電信號源。在外接電信號源作用下，所述第一波導臂的脊波導的本征區(qū)有較大量載流子注入，而所述第二波導臂的脊波導的本征區(qū)無注入載流子或較少量載流子注入；所接電信號源同時在兩個波導臂引起溫度變化，在所述第二波導臂所引起的溫度變化和第一波導臂相同或無限接近。本發(fā)明公開的電光開關或光衰減器能減小由于兩條波導臂溫度差異所引起的熱效應下折射率的變化差異，提高器件效率。