防撞突上機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121779529.X 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN215451350U 公開(公告)日 2022-01-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN215451350U 申請(qǐng)公布日 2022-01-07
分類號(hào) H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉明坤;梁吉來;姜博;王云峰 申請(qǐng)(專利權(quán))人 大連佳峰自動(dòng)化股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連優(yōu)路智權(quán)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 宋春昕
地址 116000遼寧省大連市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福泉北路27號(hào)-5號(hào)1-4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 防撞突上機(jī)構(gòu),磁吸底座上表面和頂針帽磁吸座的下表面對(duì)應(yīng)安裝磁吸座磁鐵,磁吸底座和頂針帽磁吸座之間通過磁吸座磁鐵吸合連接;磁吸底座和頂針帽磁吸座中心設(shè)有通孔,貫穿磁吸底座和頂針帽磁吸座中心的通孔設(shè)有下推桿和上推桿,下推桿的上端和上推桿的下端分別設(shè)有推桿磁鐵,下推桿和上推桿之間通過推桿磁鐵吸合連接;上推桿上端安裝頂針座,頂針座上安裝頂針;下推桿下端連接電機(jī)。本實(shí)用新型的防撞突上機(jī)構(gòu),安裝座與頂針帽基座之間通過磁吸安裝,可快速便捷地更換頂針和頂針帽,減少了安裝之后的調(diào)整工序,大幅度提高了工作效率。在調(diào)試或工作過程中,當(dāng)頂針帽與wafer平臺(tái)發(fā)生碰撞時(shí),頂針帽基座會(huì)與磁吸底座脫離,降低設(shè)備損壞風(fēng)險(xiǎn)。