一種頂針系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910903490.9 申請日 -
公開（公告）號 CN110504208B 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN110504208B 申請公布日 2021-11-16
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁吉來;王云峰;郭萬甲 申請（專利權）人 大連佳峰自動化股份有限公司
代理機構 北京高沃律師事務所 代理人 劉瀟
地址 116630遼寧省大連市開發(fā)區(qū)福泉北路27號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種頂針系統(tǒng)，包括頂針座、頂針冒和連接螺帽，頂針座具有第一壓縮通道和第一真空通道，頂針冒具有第二壓縮通道和第二真空通道，頂針冒具有壓縮通孔和真空通孔，第一壓縮通道通過第二壓縮通道與壓縮通孔相連通，第一真空通道通過第二真空通道與真空通孔相連通。本發(fā)明的頂針系統(tǒng)工作時，外界抽真空裝置通過將第一真空通道和第二真空通道內的氣體抽出，使得真空通孔處處于負壓狀態(tài)，從而順利將晶圓藍膜吸附住，在需要釋放芯片時，外界壓縮氣源向第一壓縮通道和第二壓縮通道內通入壓縮空氣，通過壓縮通孔將芯片從藍膜上頂起。本發(fā)明的頂針系統(tǒng)采用真空吸附和氣壓頂出的方法完成動作，適用于多種型號的芯片。