轉(zhuǎn)角平臺(tái)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111001004.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113764311A 公開（公告）日 2021-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113764311A 申請(qǐng)公布日 2021-12-07
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉明坤;梁吉來;姜博;王云峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連佳峰自動(dòng)化股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連優(yōu)路智權(quán)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 宋春昕
地址 116000遼寧省大連市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福泉北路27號(hào)-5號(hào)1-4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 轉(zhuǎn)角平臺(tái)機(jī)構(gòu)，基板上安裝支撐環(huán)，支撐環(huán)孔內(nèi)通過卡架上下排布安裝銷栓和頂出軸，卡架中部與支撐環(huán)內(nèi)壁之間設(shè)有彈簧；基板上位于支撐環(huán)的外側(cè)安裝大齒輪，銷栓位置與大齒輪內(nèi)緣的輪齒位置匹配；基板上位于大齒輪外側(cè)安裝切換氣缸，切換氣缸的活塞桿連接插軸，插軸與頂出軸位置相對(duì)應(yīng)；大齒輪外緣安裝同步帶，同步帶連接驅(qū)動(dòng)電機(jī)；支撐環(huán)上通過升降螺母安裝升降驅(qū)動(dòng)齒輪，升降螺母內(nèi)部螺紋連接螺桿，壓板安裝于螺桿上部，升降驅(qū)動(dòng)齒輪與大齒輪嚙合安裝。本發(fā)明將平臺(tái)機(jī)構(gòu)的晶圓擴(kuò)膜和轉(zhuǎn)角結(jié)構(gòu)進(jìn)行融合，僅使用一套電機(jī)同步帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)即可實(shí)現(xiàn)晶圓擴(kuò)膜與轉(zhuǎn)角的功能，降低了設(shè)備生產(chǎn)成本，同時(shí)縮小了平臺(tái)機(jī)構(gòu)所占空間，使設(shè)備結(jié)構(gòu)更加緊湊。