轉(zhuǎn)角平臺機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111001004.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113764311A 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN113764311A 申請公布日 2021-12-07
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉明坤;梁吉來;姜博;王云峰 申請（專利權(quán)）人 大連佳峰自動化股份有限公司
代理機構(gòu) 大連優(yōu)路智權(quán)專利代理事務所（普通合伙） 代理人 宋春昕
地址 116000遼寧省大連市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)福泉北路27號-5號1-4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 轉(zhuǎn)角平臺機構(gòu)，基板上安裝支撐環(huán)，支撐環(huán)孔內(nèi)通過卡架上下排布安裝銷栓和頂出軸，卡架中部與支撐環(huán)內(nèi)壁之間設有彈簧；基板上位于支撐環(huán)的外側(cè)安裝大齒輪，銷栓位置與大齒輪內(nèi)緣的輪齒位置匹配；基板上位于大齒輪外側(cè)安裝切換氣缸，切換氣缸的活塞桿連接插軸，插軸與頂出軸位置相對應；大齒輪外緣安裝同步帶，同步帶連接驅(qū)動電機；支撐環(huán)上通過升降螺母安裝升降驅(qū)動齒輪，升降螺母內(nèi)部螺紋連接螺桿，壓板安裝于螺桿上部，升降驅(qū)動齒輪與大齒輪嚙合安裝。本發(fā)明將平臺機構(gòu)的晶圓擴膜和轉(zhuǎn)角結(jié)構(gòu)進行融合，僅使用一套電機同步帶驅(qū)動系統(tǒng)即可實現(xiàn)晶圓擴膜與轉(zhuǎn)角的功能，降低了設備生產(chǎn)成本，同時縮小了平臺機構(gòu)所占空間，使設備結(jié)構(gòu)更加緊湊。