一種亞微米級運動平臺及其運動控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010807753.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112104187A 公開（公告）日 2020-12-18
申請公布號 CN112104187A 申請公布日 2020-12-18
分類號 H02K41/02;H02K11/33;H02K11/22;H02P25/06 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 周建紅 申請（專利權(quán)）人 深圳市圭華智能科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市徽正知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市圭華智能科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)龍華街道華聯(lián)社區(qū)河背工業(yè)區(qū)穎寶廠101A棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及電機驅(qū)動技術(shù)領域，尤其指一種亞微米級運動平臺及其運動控制方法，包括直線電機、氣浮導軌、滑塊、光柵尺、花崗巖底板、X向底板、Y向底板、Z向支架和驅(qū)動控制器；所述直線電機包括X向直線電機、Y向直線電機和Z向直線電機；所述氣浮導軌包括X向氣浮導軌、Y向氣浮導軌和Z向氣浮導軌。本發(fā)明采用直線電機、氣浮導軌和滑塊的結(jié)構(gòu)設計，極大的提高了運動平臺的穩(wěn)定性性和運動控制精度；將X向底板、Y向底板分別設置在X向氣浮導軌和Y向氣浮導軌之間，進一步提高了X向底板和Y向底板的運動穩(wěn)定性；X向直線電機、Y向直線電機和Z向直線電機的設計，保障了在X、Y、Z三個維度的精密運動控制。