一種用于磁控濺射設備回流傳輸?shù)恼{(diào)整裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022444856.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213570712U 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN213570712U 申請公布日 2021-06-29
分類號 C23C14/35（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于春鋒;李方軍;張謙 申請（專利權）人 山東三齊能源有限公司
代理機構 濟南誠智商標專利事務所有限公司 代理人 馬祥明
地址 250220山東省濟南市章丘區(qū)明水經(jīng)濟開發(fā)區(qū)圣福路2877號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于磁控濺射設備回流傳輸?shù)恼{(diào)整裝置，包括傳輸裝置、傳輸裝置支撐架、載盤導軌和傳輸固定座，其中傳輸固定座包括傳輸固定塊、傳輸調(diào)整塊、螺桿和傳輸腳座，所述傳輸固定塊固定在傳輸裝置支撐架的四個角上，傳輸調(diào)整塊安裝在傳輸固定塊上，傳輸腳座固定在傳輸調(diào)整塊上面通過螺絲鎖緊，螺桿垂直固定在傳輸調(diào)整塊上；傳輸裝置通過傳輸固定座安裝在傳輸裝置支撐架上；所述載盤導軌按照載盤在傳輸裝置上所處的位置，對稱固定在傳輸裝置支撐架上。本實用新型可解決載盤在傳輸過程中脫軌問題，解決了因脫軌問題導致的對產(chǎn)能的影響，便于維修，大大降低維修成本。