一種針對(duì)復(fù)雜氣體光譜分析的多氣室結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720687149.0 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN206862869U 公開(公告)日 2018-01-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN206862869U 申請(qǐng)公布日 2018-01-09
分類號(hào) G01N21/01(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 胡雪蛟;向柳;羅丹 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳米字科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳米字科技發(fā)展有限公司
地址 518116 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗大道8288號(hào)大運(yùn)軟件小鎮(zhèn)60棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種針對(duì)復(fù)雜氣體光譜分析的多氣室結(jié)構(gòu),包括氣室組件以及位于氣室組件一側(cè)與氣室組件間隔設(shè)置的制冷基板,氣室組件包括上下層疊設(shè)置的一個(gè)測(cè)量氣室和多個(gè)參考?xì)馐遥评浠迳显O(shè)有一激光器,測(cè)量氣室與制冷基板相對(duì)的側(cè)壁上以及每一參考?xì)馐遗c制冷基板相對(duì)的側(cè)壁上均設(shè)有通光口,制冷基板與氣室組件之間設(shè)有分光裝置,測(cè)量氣室和參考?xì)馐覂?nèi)均設(shè)有用于將入射到氣室內(nèi)的激光從通光口反射出去的反光裝置,制冷基板上還設(shè)有與測(cè)量氣室和各參考?xì)馐乙灰粚?duì)應(yīng)的多個(gè)光電探測(cè)器,制冷基板與氣室組件之間還設(shè)有聚光裝置。本實(shí)用新型可以有效消除激光器波長(zhǎng)漂移和溫度變化對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響,實(shí)時(shí)保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。