一種膜厚測(cè)量系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611099558.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108151661A 公開（公告）日 2018-06-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN108151661A 申請(qǐng)公布日 2018-06-12
分類號(hào) G01B11/06 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉玉;陳喆;李承東;操金明;潘占福;劉冬;程小輝;趙晨思 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海ＡＢＢ工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 魏金霞;王艷江
地址 201319 上海浦東新區(qū)康新公路4528號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種膜厚測(cè)量系統(tǒng)，包括：測(cè)量頭，適于測(cè)量待測(cè)工件上測(cè)量點(diǎn)的膜厚，以得到與所述膜厚關(guān)聯(lián)的測(cè)量信號(hào)；機(jī)械臂，所述測(cè)量頭固定于所述機(jī)械臂上；機(jī)器人控制部件，與所述測(cè)量頭和機(jī)械臂耦接，適于對(duì)所述測(cè)量信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，并根據(jù)數(shù)據(jù)采集結(jié)果控制所述機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)；上位機(jī)，與所述機(jī)器人控制部件耦接。本發(fā)明方案膜厚測(cè)量系統(tǒng)膜厚測(cè)量時(shí)間短，系統(tǒng)響應(yīng)速度快，系統(tǒng)成本低，且利于維護(hù)。