一種膜厚測量系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201611099558.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108151661B | 公開（公告）日 | 2018-06-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108151661B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-06-12 |
| 分類號(hào) | G01B11/06(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 劉玉;陳喆;李承東;操金明;潘占福;劉冬;程小輝;趙晨思 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海ＡＢＢ工程有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 魏金霞;王艷江 |
| 地址 | 201319上海浦東新區(qū)康新公路4528號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種膜厚測量系統(tǒng)，包括：測量頭，適于測量待測工件上測量點(diǎn)的膜厚，以得到與所述膜厚關(guān)聯(lián)的測量信號(hào)；機(jī)械臂，所述測量頭固定于所述機(jī)械臂上；機(jī)器人控制部件，與所述測量頭和機(jī)械臂耦接，適于對(duì)所述測量信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，并根據(jù)數(shù)據(jù)采集結(jié)果控制所述機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)；上位機(jī)，與所述機(jī)器人控制部件耦接。本發(fā)明方案膜厚測量系統(tǒng)膜厚測量時(shí)間短，系統(tǒng)響應(yīng)速度快，系統(tǒng)成本低，且利于維護(hù)。?? |
