一種超高真空內(nèi)氣體電離裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910838892.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110699673B | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110699673B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | C23C16/50（2006.01）I;C23C16/28（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 盧建臣;許望偉;蔡金明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 云南天豐農(nóng)藥有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都東恒知盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 何健雄;廖祥文 |
| 地址 | 650000 云南省昆明市一二一大街文昌路68號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種超高真空內(nèi)氣體電離裝置，將氣體傳輸?shù)匠哒婵涨惑w內(nèi)并用熱電離的方式將氣體分子電離。該裝置由氣體導(dǎo)管、電加熱絲、絕緣片、螺桿、電源線、四通腔體、直線導(dǎo)入器組成。電加熱絲固定在絕緣片上，絕緣片固定在螺桿上，螺桿與直線導(dǎo)入器相連接。通過(guò)直線導(dǎo)入器，可以使電加熱絲沿螺桿方向自由移動(dòng)，進(jìn)而控制加熱絲與目標(biāo)樣品的距離。電源線一端連接電加熱絲，一端連接在法蘭的電極接線柱上，外接直流源通過(guò)電極接線柱為加熱絲供電。使用裝置時(shí)，通過(guò)直線導(dǎo)入器移動(dòng)電加熱絲至氣體導(dǎo)管口附近，接通電源加熱電加熱絲，電加熱絲達(dá)到使用溫度后，通過(guò)氣體導(dǎo)管導(dǎo)入氣體，氣體分子被高溫電加熱絲熱電離成原子或離子。?? |
