一種基于透射電鏡的樣品表面結(jié)構(gòu)成像方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810352660.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN108593690A | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-09-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108593690A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-09-28 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N23/22;G01N23/2202 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王巖國(guó) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中兆培基（北京）電氣有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 南京騰元軟磁有限公司;江蘇中科啟航新材料工業(yè)研究院有限公司;江蘇非晶電氣有限公司;中兆培基南京新材料技術(shù)研究院有限公司;中兆培基（北京）電氣有限公司 |
| 地址 | 211316 江蘇省南京市高淳經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)紫荊大道以西,秀山路以南 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及材料表面結(jié)構(gòu)表征技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種基于透射電鏡的樣品表面結(jié)構(gòu)成像方法，包括：制備透射電鏡樣品；獲得樣品的低放大倍數(shù)圖像；獲得樣品表面結(jié)構(gòu)的高放大倍數(shù)圖像。該方法通過(guò)調(diào)節(jié)透射電鏡物鏡焦距來(lái)調(diào)控物鏡取景深度和取景位置，利用物鏡取景位置和有限的取景深度來(lái)強(qiáng)化樣品表面結(jié)構(gòu)信息的同時(shí)弱化樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息，進(jìn)而簡(jiǎn)單、快速并準(zhǔn)確的獲得真實(shí)反應(yīng)樣品表面結(jié)構(gòu)的透射電鏡圖像，從而有效評(píng)價(jià)材料或器件的性能。本發(fā)明具有實(shí)施成本低、效率高、可操控性和重復(fù)性強(qiáng)、技術(shù)可靠性高等特點(diǎn)，適合于在固體表面研究領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。 |
