一種高純四氟化硅的合成及純化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910536842.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110606490A 公開（公告）日 2019-12-24
申請公布號 CN110606490A 申請公布日 2019-12-24
分類號 C01B33/107 分類 無機化學;
發(fā)明人 馬建修;王新鵬;杜文東;張杰;崔錄芳 申請（專利權）人 天津綠菱氣體有限公司
代理機構 太原晉科知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 綠菱電子材料（天津）有限公司;天津綠菱氣體有限公司
地址 301714 天津市武清區(qū)河西務鎮(zhèn)三緯路南側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種高純四氟化硅的合成及純化方法。一種高純四氟化硅的合成及純化方法，包括以下步驟：氟硅酸鹽的預處理；氟硅酸鹽經裂解反應制備四氟化硅粗料；在第一吸附工段脫除痕量水分及酸性氣體；在第二吸附工段對氟硅醚進行脫除與阻聚控制；在精餾工段對輕組分和重組分進行分離；通過復雜精餾工段對恒沸物雜質進行分離。本發(fā)明提出的高純四氟化硅的合成及純化方法，其將加熱裂解、吸附單元操作、精餾和復雜精餾科學組合，通過采用吸附單元脫除氟硅醚，通過常規(guī)精餾單元操作后增加復雜精餾工藝去除恒沸物。