一種高純四氟化硅的合成及純化方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910536842.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110606490A | 公開（公告）日 | 2019-12-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110606490A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-24 |
| 分類號(hào) | C01B33/107 | 分類 | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 馬建修;王新鵬;杜文東;張杰;崔錄芳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 天津綠菱氣體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 太原晉科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 綠菱電子材料（天津）有限公司;天津綠菱氣體有限公司 |
| 地址 | 301714 天津市武清區(qū)河西務(wù)鎮(zhèn)三緯路南側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提出一種高純四氟化硅的合成及純化方法。一種高純四氟化硅的合成及純化方法，包括以下步驟：氟硅酸鹽的預(yù)處理；氟硅酸鹽經(jīng)裂解反應(yīng)制備四氟化硅粗料；在第一吸附工段脫除痕量水分及酸性氣體；在第二吸附工段對(duì)氟硅醚進(jìn)行脫除與阻聚控制；在精餾工段對(duì)輕組分和重組分進(jìn)行分離；通過(guò)復(fù)雜精餾工段對(duì)恒沸物雜質(zhì)進(jìn)行分離。本發(fā)明提出的高純四氟化硅的合成及純化方法，其將加熱裂解、吸附單元操作、精餾和復(fù)雜精餾科學(xué)組合，通過(guò)采用吸附單元脫除氟硅醚，通過(guò)常規(guī)精餾單元操作后增加復(fù)雜精餾工藝去除恒沸物。 |
