一種MEMS壓電能量收集器件及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310349525.1 申請日 -
公開（公告）號 CN103420326B 公開（公告）日 2016-03-16
申請公布號 CN103420326B 申請公布日 2016-03-16
分類號 B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I 分類 微觀結構技術〔7〕;
發(fā)明人 歐毅;張曉雅;楊冬霞;王憲東 申請（專利權）人 重慶智慧之源科技有限公司
代理機構 天津濱?？凭曋R產權代理有限公司 代理人 楊慧玲
地址 300384 天津市濱海新區(qū)高新區(qū)華苑產業(yè)區(qū)（環(huán)外）海泰發(fā)展五道16號B-4號樓-2-102-4
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明創(chuàng)造提供一種MEMS壓電能量收集器件及其制備方法，方法包括如下步驟:光刻曝光及刻蝕劃片道圖形；在硅襯底雙面生成氮化硅；光刻曝光并刻蝕背面腐蝕窗口的氮化硅；在硅襯底正面光刻壓電陶瓷片下電極圖形，蒸發(fā)金層，并超聲剝離；在硅襯底正面光刻并顯影導電膠圖形，并在其上方旋涂導電膠；在硅襯底正面壓電陶瓷片下電極圖形上方粘附壓電陶瓷片，之后進行固化；去除多余導電膠圖形；對壓電陶瓷片進行減薄拋光處理，并使表面光滑；在硅襯底正面及壓電陶瓷片上表面，滿片蒸發(fā)金層，形成上電極；采用濕法腐蝕從硅襯底背面腐蝕形成硅懸臂梁。采用本發(fā)明提供的PZT鍵合技術可以大大簡化器件的制作工藝難度，同時提高了器件性能。