一種氣體傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810530855.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109030563A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN109030563A 申請公布日 2021-07-02
分類號 G01N27/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐紅艷;孫旭輝;吳慶樂;顧元斌;張永超 申請（專利權(quán)）人 蘇州慧聞納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京智匯東方知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 薛峰;康正德
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)9幢505室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種氣體傳感器及其制備方法。該氣體傳感器是由傳感器芯片和帽結(jié)構(gòu)組成，帽結(jié)構(gòu)的表面具有多個通孔，帽結(jié)構(gòu)直接蓋合在傳感器芯片上，且帽結(jié)構(gòu)的表面與傳感器芯片之間具有預(yù)設(shè)間距，以避免表面與傳感器芯片接觸，傳感器芯片包括：基底；感測電極，其設(shè)置在基底的正面，且在感測電極的表面上施加有敏感材料，用于檢測外部空氣的濕度、溫度和/或外部空氣中待測氣體的濃度；信號輸入端和信號輸出端，其均與感測電極電連接，且均設(shè)置在基底的反面。該氣體傳感器不需要額外的封裝底座，僅將傳感器芯片作為封裝的一部分，即將傳感器芯片的反面作為封裝的背面，一方面節(jié)約了成本，另一方面極大地減小了傳感器的體積與質(zhì)量。