一種氣體傳感器及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810530855.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109030563B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109030563B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-02 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N27/00 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 徐紅艷;孫旭輝;吳慶樂(lè);顧元斌;張永超 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州慧聞納米科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京智匯東方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 薛峰;康正德 |
| 地址 | 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)9幢505室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種氣體傳感器及其制備方法。該氣體傳感器是由傳感器芯片和帽結(jié)構(gòu)組成，帽結(jié)構(gòu)的表面具有多個(gè)通孔，帽結(jié)構(gòu)直接蓋合在傳感器芯片上，且帽結(jié)構(gòu)的表面與傳感器芯片之間具有預(yù)設(shè)間距，以避免表面與傳感器芯片接觸，傳感器芯片包括：基底；感測(cè)電極，其設(shè)置在基底的正面，且在感測(cè)電極的表面上施加有敏感材料，用于檢測(cè)外部空氣的濕度、溫度和/或外部空氣中待測(cè)氣體的濃度；信號(hào)輸入端和信號(hào)輸出端，其均與感測(cè)電極電連接，且均設(shè)置在基底的反面。該氣體傳感器不需要額外的封裝底座，僅將傳感器芯片作為封裝的一部分，即將傳感器芯片的反面作為封裝的背面，一方面節(jié)約了成本，另一方面極大地減小了傳感器的體積與質(zhì)量。 |
