一種大面積薄膜壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110759789.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113405700A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113405700A 申請公布日 2021-09-17
分類號 G01L1/18（2006.01）I;G01L9/08（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 雷浩;馮長海;張平平 申請（專利權(quán)）人 蘇州慧聞納米科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州高優(yōu)盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 白莉莉
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)9幢505室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種大面積薄膜壓力傳感器。該大面積薄膜壓力傳感器包括：上封裝層和下封裝層；電極層，設(shè)置于所述下封裝層上，且所述電極層與外部電源連接；納米敏感層，以薄膜狀形態(tài)形成于所述上封裝層上；柔性支撐層，設(shè)置在所述納米敏感層和所述電極層之間，且構(gòu)造成在所述大面積薄膜壓力傳感器受到外界壓力時允許所述納米敏感層和所述電極層的接觸，在所述外界壓力撤銷時使得所述納米敏感層和所述電極層完全分離。本發(fā)明的大面積薄膜壓力傳感器極大提高了薄膜壓力傳感器輸出性能的一致性以及穩(wěn)定性。