一種提高石墨烯質量的沉積設備及方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201910216035.1 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN109763113A | 公開(公告)日 | 2019-05-17 |
申請公布號 | CN109763113A | 申請公布日 | 2019-05-17 |
分類號 | C23C16/26(2006.01)I; C23C16/46(2006.01)I; C23C16/455(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 董國材; 劉玉菲; 張金龍 | 申請(專利權)人 | 常州碳維納米科技有限公司 |
代理機構 | - | 代理人 | - |
地址 | 213000 江蘇省常州市江蘇武進經濟開發(fā)區(qū)騰龍路2號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種提高石墨烯質量的沉積設備及方法,通過新設計的基底加熱裝置及布氣盒,基底加熱裝置通過邊緣補償設計有效提高了溫度的均勻性及目標溫度控制的準確性,通過設置在布氣盒底部的排氣孔,將氣體均勻分布到所述反應區(qū)中,進而均勻分布在立于所述反應區(qū)內的基片表面,提高所述基片表面沉積的薄膜的均勻性。與現有技術相比,本發(fā)明結構簡單、成本低、易于實現。 |
