一種石墨烯圖形化制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910197039.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110047733A 公開（公告）日 2019-07-23
申請公布號 CN110047733A 申請公布日 2019-07-23
分類號 H01L21/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 董國材;劉玉菲;張金龍 申請（專利權(quán)）人 常州碳維納米科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 213000 江蘇省常州市江蘇武進經(jīng)濟開發(fā)區(qū)騰龍路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種石墨烯圖形化制備方法，該方法包括以下步驟：制備圖形化的掩膜；將制備好的圖形化的掩膜轉(zhuǎn)移到襯底上；石墨烯的生長；去除掩膜，完成石墨烯圖形化加工。本發(fā)明能夠提高石墨烯圖形化的加工精度，使工藝過程和加工操作簡單化，降低成本。