一種石墨烯圖形化制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910197039.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110047733A 公開(kāi)（公告）日 2019-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN110047733A 申請(qǐng)公布日 2019-07-23
分類(lèi)號(hào) H01L21/02 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 董國(guó)材;劉玉菲;張金龍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 常州碳維納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 213000 江蘇省常州市江蘇武進(jìn)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)騰龍路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種石墨烯圖形化制備方法，該方法包括以下步驟：制備圖形化的掩膜；將制備好的圖形化的掩膜轉(zhuǎn)移到襯底上；石墨烯的生長(zhǎng)；去除掩膜，完成石墨烯圖形化加工。本發(fā)明能夠提高石墨烯圖形化的加工精度，使工藝過(guò)程和加工操作簡(jiǎn)單化，降低成本。