一種石墨烯六角氮化硼（h-BN）復(fù)合薄膜的制備方法及其裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910235142.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109763114A 公開（公告）日 2019-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN109763114A 申請(qǐng)公布日 2019-05-17
分類號(hào) C23C16/34（2006.01）I; C23C16/44（2006.01）I; C23C16/455（2006.01）I; C23C16/26（2006.01）I; C23C28/00（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 董國(guó)材; 劉玉菲; 張金龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州碳維納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 213000 江蘇省常州市江蘇武進(jìn)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)騰龍路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種石墨烯六角氮化硼（h?BN）復(fù)合薄膜的制備方法及其裝置，所述裝置包括主腔室、進(jìn)樣室、加熱裝置、傳樣桿、供氣裝置、樣品托、插板閥及抽氣裝置。其中主腔室用于薄膜材料的制備，進(jìn)樣室用于制備襯底的準(zhǔn)備。本發(fā)明采用不銹鋼腔壁，使用分子泵+機(jī)械泵的抽氣裝置，本底真空可達(dá)到10?8mbar，充分減少雜質(zhì)氣體分子對(duì)生長(zhǎng)過(guò)程造成的影響。采用的內(nèi)加熱方式，不僅能降低能耗，提高恒溫區(qū)均勻性，可以對(duì)降溫速度進(jìn)行控制，進(jìn)而控制可降溫過(guò)程中碳原子的析出，形成高質(zhì)量的石墨烯薄膜，可以高效、節(jié)能的制備石墨烯六角氮化硼（h?BN）復(fù)合薄膜。