一種微小金屬絲/球可變形性的測量裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910154014.8 申請日 -
公開（公告）號 CN102042938A 公開（公告）日 2011-05-04
申請公布號 CN102042938A 申請公布日 2011-05-04
分類號 G01N3/28(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 賈云 申請（專利權）人 浙江金凱微電子有限公司
代理機構 杭州九洲專利事務所有限公司 代理人 浙江金凱微電子有限公司
地址 322100 浙江省東陽市環(huán)城南路888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種微小金屬絲/球可變形性的測量裝置，主要包括線夾、振幅桿、鍵合工具、鍵合平臺和底座，底座上設有連接桿，線夾及振幅桿連接固定在連接桿上，底座上固定有鍵合平臺，振幅桿的一端夾有鍵合工具，振幅桿的另一端安裝有光柵尺，線夾上設有力傳感器。一種微小金屬絲/球可變形性的測量方法，鍵合工具向下運動直至金屬材料與鍵合平臺相接觸，記錄此時鍵合工具的位置z1；然后對金屬材料施加指定變形載荷后，記錄金屬材料變形后的鍵合工具位置z2；計算出金屬材料在特定變形載荷作用下所發(fā)生的塑性變形量，本發(fā)明有益的效果是：本發(fā)明通過測量裝置對金屬材料進行測量，然后進行可變形性能比較，執(zhí)行速度快，分辨力高。