超精密運(yùn)動臺半實(shí)物仿真系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911346193.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113031461A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113031461A 申請公布日 2021-06-25
分類號 G05B17/02 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 李慶鑫;王福東;趙冰潔;李子陽;張華良;孫海濤;張誠 申請（專利權(quán)）人 沈陽智能機(jī)器人國家研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 王倩
地址 110000 遼寧省沈陽市渾南區(qū)創(chuàng)新路155-3號A-018室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及超精密運(yùn)動臺半實(shí)物仿真系統(tǒng)及方法，上位機(jī)用于構(gòu)建仿真環(huán)境，對超精密運(yùn)動臺進(jìn)行建模與仿真測試，并將仿真程序部署到控制算法目標(biāo)機(jī)或模型目標(biāo)機(jī)中，獲取控制算法目標(biāo)機(jī)的控制參數(shù)和模型目標(biāo)機(jī)的狀態(tài)參數(shù)；控制算法目標(biāo)機(jī)用于為上位機(jī)提供運(yùn)行仿真程序?qū)崟r代碼的仿真環(huán)境，實(shí)時運(yùn)行部屬的仿真程序；模型目標(biāo)機(jī)為上位機(jī)提供運(yùn)行仿真程序?qū)崟r代碼的仿真環(huán)境，或者提供真實(shí)的超精密運(yùn)動臺的狀態(tài)參數(shù)。本發(fā)明可以加快超精密運(yùn)動臺控制系統(tǒng)的開發(fā)速度，提高仿真的真實(shí)性和可信度，通過實(shí)時仿真和控制器的軟硬件結(jié)合，增強(qiáng)了系統(tǒng)控制策略的實(shí)時性和可移植性，為超精密控制系統(tǒng)開發(fā)節(jié)約了成本，也為國內(nèi)光刻機(jī)的產(chǎn)業(yè)化做好了準(zhǔn)備。