一種儲(chǔ)片盒傳輸裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011311690.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112382597A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112382597A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-19 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/677(2006.01)I; | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 潘忠懷 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址 | 101312北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)竺園三街6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種儲(chǔ)片盒傳輸裝置，包括承載板、承載板傳輸組件和至少兩個(gè)儲(chǔ)片盒固定組件，承載板包括用于承載儲(chǔ)片盒的承載面，承載面設(shè)置有導(dǎo)向柱，用于實(shí)現(xiàn)對(duì)承載于承載面的儲(chǔ)片盒進(jìn)行定位；承載板傳輸組件與承載板固定連接，用于驅(qū)動(dòng)承載板沿傳輸方向移動(dòng)；至少兩個(gè)儲(chǔ)片盒固定組件沿傳輸方向分布在承載板的兩側(cè)，且均與承載板固定連接，每個(gè)儲(chǔ)片盒固定組件用于在傳輸儲(chǔ)片盒時(shí)，將儲(chǔ)片盒固定在承載板的承載面上。在本發(fā)明中，儲(chǔ)片盒固定組件能夠?qū)?chǔ)片盒固定在承載板的承載面上，從而在承載板帶動(dòng)儲(chǔ)片盒沿傳輸方向移動(dòng)時(shí)防止儲(chǔ)片盒在傳輸過(guò)程中發(fā)生晃動(dòng)，保證晶片的位置精度，提高產(chǎn)品良率。?? |
