基板歸正裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010743524.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111863664B 公開(kāi)（公告）日 2022-02-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN111863664B 申請(qǐng)公布日 2022-02-25
分類(lèi)號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李宏巖;潘忠懷 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭瑞欣;王婷
地址 101312北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)竺園三街6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基板歸正裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其中，基板歸正裝置包括成對(duì)設(shè)置的歸正組件，用于通過(guò)夾持基板以使基板位于指定位置，歸正組件包括主體支架、彈性緩沖組件和測(cè)控組件，主體支架用于與基板接觸，以對(duì)基板進(jìn)行歸正，彈性緩沖組件設(shè)置在主體支架上，用于減緩主體支架與基板接觸所產(chǎn)生的作用力，測(cè)控組件設(shè)置在主體支架上，用于驅(qū)動(dòng)主體支架移動(dòng)，并對(duì)主體支架的位置進(jìn)行檢測(cè)及控制。本發(fā)明提供的基板歸正裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備，能夠降低廢品率，并提高生產(chǎn)效率。