傳輸機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111143262.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113859969A 公開（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113859969A 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) B65G47/91（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 潘忠懷;張文平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭瑞欣;王婷
地址 101312北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)竺園三街6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種傳輸機(jī)構(gòu)。該傳輸機(jī)構(gòu)包括：機(jī)械臂、支撐結(jié)構(gòu)、第一吸附組件和第二吸附組件；機(jī)械臂固定設(shè)置，支撐結(jié)構(gòu)與機(jī)械臂連接，機(jī)械臂用于帶動(dòng)支撐結(jié)構(gòu)移動(dòng)或旋轉(zhuǎn)；第一吸附組件和第二吸附組件均設(shè)置于支撐結(jié)構(gòu)的同一面上，第一吸附組件和第二吸附組件均用于在支撐結(jié)構(gòu)由機(jī)械臂的帶動(dòng)下伸入基板存儲(chǔ)箱內(nèi)抓取基板，第二吸附組件能夠相對(duì)支撐結(jié)構(gòu)伸縮運(yùn)動(dòng)，用于帶動(dòng)抓取的基板的至少一側(cè)邊發(fā)生形變，以使抓取的基板與基板存儲(chǔ)箱內(nèi)的基板分離；第一吸附組件和第二吸附組件還用于在機(jī)械臂的帶動(dòng)下將基板傳送至預(yù)設(shè)位置后釋放基板。本申請(qǐng)實(shí)施例能夠避免由于基板相互吸附導(dǎo)致抓取失敗，從而大幅提高基板抓取的成功率以及提高傳輸良率。