晶圓夾持裝置及晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111477595.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114188268A 公開（公告）日 2022-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114188268A 申請(qǐng)公布日 2022-03-15
分類號(hào) H01L21/687（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳濤;孫增強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭瑞欣;王婷
地址 101312北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)竺園三街6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓夾持裝置及晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，其中晶圓夾持裝置包括一對(duì)第一夾持件、一對(duì)第二夾持件及開合驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，開合驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)選擇性驅(qū)動(dòng)一對(duì)第一夾持件及一對(duì)第二夾持件中的至少一者合攏或張開，各第一夾持件的第一夾持部具有交替設(shè)置的第一夾槽和第一避讓槽，各第二夾持件的第二夾持部具有交替設(shè)置的第二夾槽和第二避讓槽，第一夾槽和第二夾槽用于夾持晶圓，兩個(gè)第一夾持部與兩個(gè)第二夾持部分別對(duì)應(yīng)設(shè)置，在相對(duì)應(yīng)的第一夾持部和第二夾持部中，各第一避讓槽對(duì)應(yīng)于一個(gè)第二夾槽以用于避讓該第二夾槽夾持的晶圓，各第二避讓槽對(duì)應(yīng)于一個(gè)第一夾槽以用于避讓該第一夾槽夾持的晶圓。上述裝置實(shí)現(xiàn)一次夾持兩組晶圓，以縮短工作節(jié)拍，提高工作效率。