一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710282363.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107008690B 公開(kāi)（公告）日 2019-05-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN107008690B 申請(qǐng)公布日 2019-05-24
分類號(hào) B08B3/10（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I; H01L21/02（2006.01）I; H01L21/67（2006.01）I; F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 朱黎雨; 楊超 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖州雷暴電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 代理人 朱黎雨
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)人民路2033號(hào)日出印象花園B區(qū)8棟一單元601
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種清洗設(shè)備，尤其涉及一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備。本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種清洗高效，安全性能高的用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了這樣一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓清洗設(shè)備，包括有底板、支桿、清洗框、出液管、閥門(mén)、支撐架、頂板、升降機(jī)構(gòu)等；底板頂部中間左右對(duì)稱設(shè)有支桿，支桿頂端連接有清洗框，清洗框與底板之間連接有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，清洗框左壁底部連接有出液管，出液管上設(shè)有閥門(mén)，底板頂部左右兩端均設(shè)有支撐架，支撐架頂端安裝有頂板，頂板底部中間安裝有升降機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)底部連接有放置框。本發(fā)明達(dá)到了操作過(guò)程簡(jiǎn)單，安全性高的效果。